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一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置

　　摘要：本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上的待加工件（12）上。本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，加工简单、效率高且无需耗材。

专利类型实用新型
申请人江阴德力激光设备有限公司;
发明人赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华;
地址214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼
申请号CN201220266380.X
申请时间2012年06月07日
申请公布号CN202667927U
申请公布时间2013年01月16日
分类号B23K26/36(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;B23K26/16(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;