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    一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置

      摘要:本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置,所述激光器(1)发出的激光依次经光闸(2)、1/2波片(3)和格兰棱镜(4)后射入扩束镜(5)对光束进行同轴扩束,经扩束镜(5)扩束准直后的激光到达全反镜片(6),经全反镜片(6)反射后的激光射入振镜系统(7),射出振镜系统(7)的激光经远心场镜(8)后聚焦到被吸附于真空吸附平台(13)上作为待加工件(12)的柔性导电膜上。本实用新型一种脉冲激光刻蚀卷对卷柔性导电膜的装置,适应生产需求、减少生产工序、增加生产效率且节约生产成本。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人江阴德力激光设备有限公司;
    • 发明人赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华;
    • 地址214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼
    • 申请号CN201220266396.0
    • 申请时间2012年06月07日
    • 申请公布号CN202667918U
    • 申请公布时间2013年01月16日
    • 分类号B23K26/03(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;