摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体，其特征在于：所述槽体上地板设有回流定位槽，回流定位槽上设有快拆封板，所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。本实用新型的有益效果是：使得管路在维护过程中的可操作性得到显著的改善，减少维护成本且缩短维护时间，并且可以调整药液局部浓度。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州晶洲装备科技有限公司;
- 发明人施利君;张强;
- 地址215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号
- 申请号CN201220111864.7
- 申请时间2012年03月21日
- 申请公布号CN202643916U
- 申请公布时间2013年01月02日
- 分类号C30B33/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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