摘要:平面摆式干涉仪,包括光源,光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜,以及将平行光分成两束光的分束器,两束光一束为反射光,另一束为透射光,于分束器一侧的反射光的光路上,依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜,以及将反射光原路反射回分束器的第一角镜,于分束器另一侧的透射光的光路上,依次设有将透射光反射到第二角镜的第二平面镜,以及将透射光原路反射回分束器的第二角镜,第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承,使第一角镜和第二角镜摆动产生光程差,于分束器另一侧形成干涉光,分束器另一侧设有将干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。本实用新型光学效率相对提高1.33倍,稳定性好。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京瑞利分析仪器有限公司;
- 发明人高学军;龚蓉晔;王百华;刘志国;杨海山;武惠忠;彭海英;王文智;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路9号A5楼
- 申请号CN201220252267.6
- 申请时间2012年05月30日
- 申请公布号CN202631111U
- 申请公布时间2012年12月26日
- 分类号G01J3/45(2006.01)I;