摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置，包括槽体和盖板，其特征在于：在槽体的刻蚀段后方设置过渡区，在过渡区的后方设置一抽风管；在抽风管的后方加装一把气刀，利用气刀的风力在其覆盖区域内形成一道气墙。本实用新型的有益效果是，利用气帘装置及其配套的元件所组成的系统，有效的防止了刻蚀段的酸气扩散。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州晶洲装备科技有限公司;
- 发明人张强;施利君;
- 地址215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号
- 申请号CN201220111852.4
- 申请时间2012年03月21日
- 申请公布号CN202601573U
- 申请公布时间2012年12月12日
- 分类号H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
