摘要：一种大流量复合分子泵，抽气系统由涡轮动片及牵引级组成，通过轴套固定在泵主轴上，泵主轴由上轴承和下轴承共同支撑。本实用新型适用于磁控溅射设备配套，设计合理，经济实用，强度高、安全性能好，提高了泵的抗气体冲击能力同时涡轮级减少，降低了对气体的压缩比，也减少了气体的摩擦发热，为大流量复合分子泵长期中真空状态创造条件，又因其结构特征泵的成本低、体积更矮、更方便安装。具有一定经济效益和社会效益。
- 专利类型实用新型
- 申请人成都无极真空科技有限公司;
- 发明人葛明;罗进军;阎亚林;
- 地址610091 四川省成都市青羊区文家蛟龙工业港A2
- 申请号CN201220055198.X
- 申请时间2012年02月21日
- 申请公布号CN202545291U
- 申请公布时间2012年11月21日
- 分类号F04D19/04(2006.01)I;
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