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真空室内差动式基片升降机构

　　摘要：本实用新型公开了一种真空室内差动式基片升降机构，包括波纹管组件，波纹管组件的上部固定在真空室的上法兰上，波纹管组件的下端连接有基片架，波纹管组件的上部与下部之间设有导向柱；波纹管组件的轴心部位设有差动螺杆，差动螺杆的上部与波纹管组件的上部通过螺纹连接，差动螺杆的下部与波纹管组件的下部通过螺纹连接，差动螺杆的上部螺纹与下部螺纹的螺距不同，差动螺杆的上端设有螺杆手钮。当差动螺杆转动时，利用螺纹差动原理，实现在真空环境中，方便、快捷、准确的将基片升降到所需要的位置上，提高了整个设备的安全性与可靠性。

专利类型实用新型
申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
发明人刘洁雅;
地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
申请号CN201220111913.7
申请时间2012年03月22日
申请公布号CN202530151U
申请公布时间2012年11月14日
分类号C23C14/22(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;