摘要：本实用新型公开了一种可实现自动翻转的基片架，基片架包括基片卡具，基片卡具通过回转轴安装在支座上，回转轴的后端设有棘轮，与棘轮对应的部位设有棘爪，棘爪连接有升降装置；当棘爪上升时，棘爪与棘轮啮合；当棘爪下降时，棘爪与棘轮分离。通过棘轮-棘爪机构可以在镀膜过程中实现基片的自由翻转，克服真空溅射镀膜设备和真空蒸发镀膜设备绕射性差的特点，使基片的两个表面在一次镀膜工艺过程中都能均匀、牢固的沉积上薄膜，以达到完成工艺要求、保证镀膜质量同时提高工作效率的目的。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人李辉;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201220101661.X
- 申请时间2012年03月16日
- 申请公布号CN202499902U
- 申请公布时间2012年10月24日
- 分类号C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;
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