摘要：一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台，它涉及一种微动微扫平台，具体涉及一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台。本实用新型为了解决传统的扫描平台设计运动单一，运动速度慢，产生位置误差传递的问题。本实用新型的浮动块设置在公共底座上表面的中部，第一压电制动器下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第二压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第三压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第四压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷。本实用新型用于微纳米级微动平台技术领域。
- 专利类型实用新型
- 申请人哈尔滨芯明天科技有限公司;
- 发明人陈峰;邢立明;杨明远;谭丽娜;陈雷;
- 地址150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区汉广街41号金华大厦6层芯明天科技636室
- 申请号CN201220106182.7
- 申请时间2012年03月20日
- 申请公布号CN202474045U
- 申请公布时间2012年10月03日
- 分类号H01L41/09(2006.01)I;H02N2/00(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
