摘要：本实用新型涉及集成电路加工工艺技术领域，具体公开了一种薄片盘状物清洗甩干器，包括：甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述薄片盘状物一起旋转。本实用新型实施例通过采用气体和药液同时作用在薄片盘状物背部，对其进行清洗和甩干，并通过对残留液滴进行抽真空，能够将薄片盘状物背面的药液残留和颗粒彻底清洗干净，保证薄片盘状物的无污染，且本装置结构简单、易于实现。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人凯里·雷;王浩;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201120552147.3
- 申请时间2011年12月26日
- 申请公布号CN202423230U
- 申请公布时间2012年09月05日
- 分类号H01L21/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;
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