摘要：一种冷阴极辅助能谱系统，将阴极发光仪固定到显微镜上，通过能谱探测器附件与探测器连接，同时将探测器与电脑连接；其特征是：在阴极发光真空室观察窗的位置添加能谱探测器附件，将探测器放置在能谱探测器附件上。该系统简化了前期样品处理，能够同时获得样品的透射、偏光、阴极发光图片和样品的元素种类、成分、形态与含量分析数据和谱图，避免了电子枪的过热造成的饱和、热激发和仪器污染。此外，阴极光束大小、方向可调，仪器操作方便简洁。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京美嘉图科技有限公司;
- 发明人张兰坤;
- 地址100053 北京市宣武区广内登莱胡同4号
- 申请号CN201020536626.1
- 申请时间2010年09月20日
- 申请公布号CN202421509U
- 申请公布时间2012年09月05日
- 分类号G01T1/36(2006.01)I;
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