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    基于新型传感器的流量调节系统

      摘要:本实用新型公开了一种基于新型传感器的流量调节系统,包括分流器,分流器的分流支路上设有流量传感器,流量传感器为MEMS流量传感器,MEMS流量传感器内设有温度检测单元。响应时间快、重复性好、成本低,当需要涉及气体单一、精度要求低、气压要求低、响应时间快的情况时,可以大大降低成本、增大使用范围。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
    • 发明人吴薇;胡蕾;黄文填;
    • 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
    • 申请号CN201120462769.7
    • 申请时间2011年11月18日
    • 申请公布号CN202404454U
    • 申请公布时间2012年08月29日
    • 分类号G05D7/06(2006.01)I;