摘要：本实用新型提供一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器，包括壳体及底盖，还包括安装在壳体及底盖所形成大空腔内的内层壳体，所述内层壳体形成小密闭空腔，所述内层壳体内安装MEMS加速度计，所述内层壳体外表面用导热硅胶粘贴薄膜加热器并加装保温材料，所述MEMS加速度计外表面安装测温传感器，自动控制薄膜加热器电流的解算控制板与所述测温传感器相偶联。本实用新型克服了传统温度补偿方法费时费力生产成本高的不足，显著减小了由于传感器环境温度大范围变化产生的零位及比例因子漂移误差。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京星网宇达科技股份有限公司;
- 发明人迟家升;宋光威;
- 地址100097 北京市海淀区蓝靛厂东路2号院2号楼（金源时代商务中心2号楼）2单元（B座）5A
- 申请号CN201120559562.1
- 申请时间2011年12月28日
- 申请公布号CN202393384U
- 申请公布时间2012年08月22日
- 分类号G01C9/00(2006.01)I;
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