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    一种氦质谱检漏仪检漏截流装置

      摘要:本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪检漏截流装置,包括一个空心接头,所述接头包括进气口、出气口,所述接头的中心位置嵌入一个氦气分离器。本实用新型的氦气分离器只对氦气具有良好的渗透率,可以良好阻断其他气体通过。当工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏时,只要氦气进入工件,便可以通过氦气分离器进入氦质谱检漏仪中,从而被检测出来,实现对工件的检漏。本实用新型结构简单,使用方便,解决了目前氦质谱检漏仪在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏问题,具有良好的应用前景。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
    • 发明人张志;
    • 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
    • 申请号CN201120422353.2
    • 申请时间2011年10月31日
    • 申请公布号CN202372316U
    • 申请公布时间2012年08月08日
    • 分类号G01M3/20(2006.01)I;