摘要：本实用新型为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板、连杆机构、电机依次连接，连杆机构能够在电机的驱动下带动传片门板运动，以将反应腔室隔板上的方孔打开或关闭。本实用新型采用连杆机构传动传片门，结构简单易行，较容易控制开启的高度，并且使用电机驱动连杆机构来控制传片门的开关，较为容易控制，与采用气缸传动相比，可节省气缸气源。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人昝威;吴仪;张晓红;裴立坤;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201120361347.0
- 申请时间2011年09月23日
- 申请公布号CN202307825U
- 申请公布时间2012年07月04日
- 分类号H01L21/67(2006.01)I;
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