摘要：本实用新型公开了一种用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置，它包括由依次连接的中频电源控制系统、中频电容补偿器和感应加热器组成的中频电加热系统，还包括真空泵系统和用于放置并加热太阳能电池衬底的真空腔室，所述中频电源控制系统产生中频交流电并经电容补偿器输入感应加热器形成谐振槽路，所述感应加热器的周围产生交变磁场；所述真空腔室置于所述的感应加热器的交变磁场内并设有输入反应气体的进气口、以及与所述的真空泵系统的抽气管连通的抽气口。本实用新型可实现对太阳能电池的衬底的非接触式加热，功耗低、升温速度快、衬底温度分布均匀。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人罗志明;李志荣;李志方;李秋霞;
- 地址523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201120288783.X
- 申请时间2011年08月10日
- 申请公布号CN202190428U
- 申请公布时间2012年04月11日
- 分类号H05B6/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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