摘要：本实用新型提供一种用于刻蚀触摸屏上不可视区域导电薄膜的装置，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端依次布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。采用优化的光路聚焦系统和高频率的脉冲激光器，对不可视区域导电薄膜材料进行蚀刻，得到较细较稳定的线宽，且不损伤基底。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;狄建科;张伟;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN201120158397.9
- 申请时间2011年05月18日
- 申请公布号CN202123323U
- 申请公布时间2012年01月25日
- 分类号B23K26/40(2006.01)I;
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