摘要:本实用新型涉及紫外激光打孔的装置,紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜,扩束镜的输出端依次布置有第一反射镜和第二反射镜,第二反射镜的输出端布置有光束整形器,光束整形器的输出端布置有扫描振镜,扫描振镜的输出端连接有聚焦镜,聚焦镜的下方布置有三维移动平台;紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜,扩束镜输出准直的光束,准直的光束经第一反射镜和第二反射镜后进入光束整形器,经整形的光束经扫描振镜后进入聚焦镜,在焦点处获得能量分布为平顶分布的聚焦光斑;聚焦后的光束焦点位于三维移动平台的加工工件上。紫外激光与材料作用时,通过打断材料的化学键使分子剥离,极大地减小热影响区域,获得很好的边缘加工效果。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
- 发明人赵裕兴;汪昊;
- 地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
- 申请号CN201120158369.7
- 申请时间2011年05月18日
- 申请公布号CN202123320U
- 申请公布时间2012年01月25日
- 分类号B23K26/36(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;B23K101/42(2006.01)N;