摘要：本实用新型提供一种冷却装置，包括：冷却液管(2)、冷却片(3)与连接板(1)；冷却液管(2)为U型，两个U型开口端穿过连接板(1)上的两个开孔，并焊接于连接板(1)上；冷却片(3)为半圆形，包括两组，每组包括多个；两组冷却片(3)分别间隔焊接于U型的冷却液管(2)的两侧。可以将镀膜过程中的有毒气体冷却，使有毒气体中的有毒物质凝结为固态，以便下一步可以过滤有害成分，避免因无法过滤完全，有害气体直接排入大气污染环境，造成危害。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人侯荣华;黄芃;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201120199223.7
- 申请时间2011年06月13日
- 申请公布号CN202094165U
- 申请公布时间2011年12月28日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
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