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一种带千分尺的激光调焦头

　　摘要：本实用新型涉及一种带千分尺的激光调焦头，它包括依次连接的长扩束镜筒、反射镜座和调焦尺模块，所述调焦尺模块上设有与外部抽尘系统相连的防尘杯，调焦尺模块上还设有聚焦镜和和用于调整聚焦镜高度的千分尺，所述反射镜座上设有用于将光束反射到聚焦镜的反射镜片。本实用新型的有益效果是：本实用新型通过调节调焦尺模块上的千分尺，快速准确的调整激光聚焦焦点位置，提高生产效率。通过防尘杯连接至外部抽尘系统将硅片划片过程中产生的大部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘的效率。

专利类型实用新型
申请人武汉三工光电设备制造有限公司;
发明人何成鹏;
地址430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区武汉大学科技园
申请号CN201120109437.0
申请时间2011年04月14日
申请公布号CN202053025U
申请公布时间2011年11月30日
分类号B23K26/38(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G02B7/04(2006.01)I;