摘要:本实用新型涉及一种高度集成的测试腔结构,它密封性好,漏点少,占地空间小,结构简单,安装方便。其结构为:它包括一个金属集成块,在金属集成块上设有至少一个测试单元;测试单元包括一个测试腔,试样安装在测试腔上;同时,测试腔还与一对气路孔连通;在至少一个气路孔上设有至少一个流量控制装置;其中至少一个气路孔还与至少一个气路切换装置连接。
- 专利类型实用新型
- 申请人济南兰光机电技术有限公司;
- 发明人姜允中;
- 地址250031 山东省济南市天桥区无影山路144号
- 申请号CN201020654402.0
- 申请时间2010年12月13日
- 申请公布号CN201885742U
- 申请公布时间2011年06月29日
- 分类号G01D11/00(2006.01)I;