摘要：本实用新型公开了一种多晶硅制绒槽，包括：反应槽(2)、外槽(1)、安装在所述反应槽(2)上的进液管路、和安装于所述外槽(1)上的溢流管路，所述反应槽(2)部分置于所述外槽(1)中，所述进液管路上设有调节阀，可对反应槽(2)进液量进行控制，并通过在外槽(1)上设置液位传感器，使外槽(1)的溢流量可根据外槽(1)的进液量的大小自行进行相应的调节。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人于皓洁;张琳;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201020629838.4
- 申请时间2010年11月23日
- 申请公布号CN201864794U
- 申请公布时间2011年06月15日
- 分类号C30B33/10(2006.01)I;
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