摘要：一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体，上法兰和下法兰，其特征在于：所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀，所述下法兰安装在冷阱体的下端，上法兰安装在冷阱体的上端，所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201020597024.7
- 申请时间2010年11月09日
- 申请公布号CN201855590U
- 申请公布时间2011年06月08日
- 分类号B01D8/00(2006.01)I;
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