摘要：本实用新型公开了一种用于质谱仪的真空腔系统，其包括一真空腔，所述真空腔通过一连接腔连接一分子泵，所述分子泵连接一不锈钢管，所述真空腔还连接一真空规，所述真空腔两端设有端盖，所述端盖与真空腔连接处加设有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0.8-1.6，所述真空腔使用的是铝材料。本实用新型的用于质谱仪的真空腔系统结构简单，易于拆装，可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人胡晓斌;任建凯;
- 地址215200 江苏省昆山市巴城镇苇城南路1666号天瑞大厦
- 申请号CN201020218077.3
- 申请时间2010年06月08日
- 申请公布号CN201829450U
- 申请公布时间2011年05月11日
- 分类号H01J49/04(2006.01)I;
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