摘要：本实用新型涉及一种AFM的重定位系统，包括PC机、微控制器、光信号处理电路模块、高压驱动器和操作平台，PC机通过线路连接微控制器，微控制器与PC机的连接线路上并联针尖偏移前馈补偿电路模块，微控制器通过线路分别连接第一A/D转换模块、第二A/D转换模块、D/A转换模块和鲁棒控制器，第一A/D转换模块通过线路连接光信号处理电路模块，D/A转换模块通过线路连接高压驱动器，第二A/D转换模块通过线路连接位移信号处理电路模块。本实用新型有益效果：采用鲁棒控制器、探针针尖偏移量前馈补偿和压电陶瓷扫描器组合控制方式，使系统仍能保持预期的性能，重复定位精确度高，速度快，具有良好的跟踪能力和重定位效果。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州海兹思纳米科技有限公司;
- 发明人唐沈健;孙鑫;陈前春;李立强;
- 地址215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105
- 申请号CN201020272000.4
- 申请时间2010年07月27日
- 申请公布号CN201773112U
- 申请公布时间2011年03月23日
- 分类号G01Q10/06(2010.01)I;
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