摘要：本实用新型涉及一种行星工件架，包括电机、动密封装置、中心齿轮、行星架、工件盘、行星齿轮和行星齿轮部件，其特征在于：所述电机包括第一电机和第二电机；所述第一电机与所述行星架连接，用于驱动所述行星架，使所述行星架与所述第一电机同轴转动；所述行星架通过所述行星齿轮部件与所述行星齿轮连接，通过所述行星架的转动带动所述行星齿轮转动；所述第二电机连接有定齿轮，由所述第二电机驱动所述定齿轮，使定齿轮与第二电机同轴转动；所述定齿轮与所述中心齿轮啮合，由所述定齿轮的转动带动所述中心齿轮转动；所述行星齿轮与所述中心齿轮啮合。该行星架可以做行星运动、或仅做公转运动、或在某一固定点做自转运动，并且自转转速可调可控。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人安其;张永和;董玢越;
- 地址102600 北京市大兴工业开发区前高米店盛坊路北京仪器仪表基地
- 申请号CN201020214193.8
- 申请时间2010年05月25日
- 申请公布号CN201729872U
- 申请公布时间2011年02月02日
- 分类号C23C14/50(2006.01)I;
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