摘要：本实用新型属于流体阀门技术领域，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。用运于真空腔室和真空泵系统之间的限流阀，对真空系统的泵系统和真空腔的抽速进行限制。该限流阀包括由厚壁法兰、步进电机、电机驱动器、主轴、横向支杆和转板组成。其中，厚壁法兰的一侧安装步进电机和电机驱动器，步进电机和电机驱动器通过支杆和螺母进行固定；步进电机通过螺钉与主轴固接，主轴通过凸块与横向支杆和横向支杆轴连接，凸块由螺钉固定，横向支杆和横向支杆轴分别由螺钉和螺母固定，转板通过拉板、转轴和螺钉与横向支杆固接。本实用新型的有意效果是：该限流阀的结构合理，既能达到稳定抽速的作用，又具有体积精巧，成本低和使用寿命长。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京泰科诺科技有限公司;
- 发明人陈良贤;施戈;
- 地址100096 北京市海淀区西三旗上奥世纪中心2A-1411
- 申请号CN201020214295.X
- 申请时间2010年05月26日
- 申请公布号CN201688007U
- 申请公布时间2010年12月29日
- 分类号F16K31/04(2006.01)I;F16K1/18(2006.01)I;
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