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    用于椭偏测量系统的样品方位校准的装置

      摘要:本实用新型公开了一种用于椭偏测量系统的样品方位校准的装置,包括光学自准直望远系统和显微物镜组,光学自准直望远系统包括光学器件套筒,在该光学器件套筒的底部固定设置有滑动装置,滑动装置上设置有能够水平移动的显微物镜组,显微物镜组在滑动装置上滑动以实现其与光学器件套筒的光轴重合或远离。本实用新型采用了自准直望远系统和显微系统结合的方式,通过滑动装置带动显微物镜离开或进入光学器件套筒的光轴,来实现自准直望远系统和显微系统的功能简单切换。本实用新型的优点在于:该系统外形小巧、结构简单、观察快速、操作简捷。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人北京量拓科技有限公司;
    • 发明人孟永宏;赵鑫;
    • 地址100098 北京市海淀区大钟寺东路9号京仪科技大厦C座309室
    • 申请号CN201020172663.9
    • 申请时间2010年04月22日
    • 申请公布号CN201681041U
    • 申请公布时间2010年12月22日
    • 分类号G01N21/21(2006.01)I;G02B23/10(2006.01)I;