摘要：本实用新型涉及一种自动光学检测系统，包含一影像撷取装置、一基准标记分析单元、一影像校正单元以及一缺陷分析单元。影像撷取装置用以撷取一待测样品的影像。基准标记分析单元与影像撷取装置电性连接，用以找出影像中的基准标记。影像校正单元与基准标记分析单元电性连接，用以依据基准标记校正影像并输出一校正影像。缺陷分析单元与影像校正单元电性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自动光学检测系统可改善因待测样品晃动所造成的影像位移的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海中晶科技有限公司;
- 发明人林君谚;吴金来;金山;
- 地址200233 上海市漕河泾开发区桂平路680号35号楼
- 申请号CN201020187070.X
- 申请时间2010年05月07日
- 申请公布号CN201673124U
- 申请公布时间2010年12月15日
- 分类号G01N21/88(2006.01)I;
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