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    一种区熔再结晶设备

      摘要:本实用新型涉及一种区熔再结晶设备,它包括一带有滑道的实验台,实验台上设置有可滑动支架,支架的顶部固定连接一工作台,支架的底座穿设有一端带有螺纹一转轴,转轴的另一端上设置有一计数器,转轴连接到一马达的输出端;计数器并联连接马达和一控制模块,马达连接控制模块,控制模块内置有电源;工作台的另一端顶面上设置有一衬底,与工作台对应设置有一石英腔室,石英腔室的一端设置有进口,石英腔室外部由顶部带有凹槽并固定在实验台上的罩体进行密封,凹槽内设置有一聚光装置,聚光装置通过摄像头连接监视器,罩体的底部设置有衬底加热装置和冷却装置,聚光装置内设置有薄膜加热装置,衬底加热装置和加热装置连接控制模块。本实用新型可广泛应用于各种太阳能电池制备中。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人北京市太阳能研究所有限公司;
    • 发明人许颖;宋爽;励旭东;勾宪芳;冯维希;
    • 地址100191 北京市海淀区花园路3号
    • 申请号CN200920222524.X
    • 申请时间2009年09月15日
    • 申请公布号CN201532964U
    • 申请公布时间2010年07月21日
    • 分类号H01L31/18(2006.01)I;