摘要：干法硅片自动插片机，包括机架以及安装于机架上的提升机构，其特征在于机架上安装往复进给机构以及皮带传送机构，皮带传送机构包括与动力源连接的主轴，主轴左右两端分别装有从动轮，输送硅片的传输带与所述从动轮及传动轮连接，所述皮带经过将硅片输送入硅片插片盒的导向槽；往复进给机构包括连杆，连杆分别与连杆座、凸轮、下连杆座铰接，凸轮与动力源连接，滑块穿过所述凸轮以及连杆，滑块、凸轮以及连杆通过两个螺母、一个双头螺栓在轴向固定。本实用新型利用皮带传送机构实现硅片的自动插片，插片效率高且破损率低。
- 专利类型实用新型
- 申请人无锡市南亚科技有限公司;
- 发明人凌兆贵;顾韻;王江华;李坤;
- 地址214024 江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区107号
- 申请号CN200920187714.2
- 申请时间2009年09月18日
- 申请公布号CN201508850U
- 申请公布时间2010年06月16日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;
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