摘要：湿法硅片自动插片机的送片槽板，包括底板，分别安装在底板上的左侧板以及右侧板，底板上设置导流条，每个导流条分别开有一条凹槽，凹槽头部与导流条之间设置过渡面，凹槽尾部与导流条尾部平齐，凹槽按长度的不同至少可以划分为三组，每组的凹槽数量至少为三组，凹槽与导流条之间的过渡面为圆弧。所述凹槽及圆弧过渡面能使水流运动产生浮点，避免硅片吸附在送片槽板上，使得硅片能快速平稳的滑入硅片盒内。
- 专利类型实用新型
- 申请人无锡市南亚科技有限公司;
- 发明人凌兆贵;顾韻;
- 地址214024 江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区107号
- 申请号CN200920187713.8
- 申请时间2009年09月18日
- 申请公布号CN201508849U
- 申请公布时间2010年06月16日
- 分类号H01L31/18(2006.01)I;B65G51/01(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;B65B5/00(2006.01)I;B65B35/10(2006.01)I;
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