摘要:本实用新型提供一种太阳能电池片的测试装置,包括可以二维平移的探针和样品台,样品台的台面由导电导热材料制成,其中样品台的台面有通孔,台面下设置有用于真空吸附的气室空间,所述通孔与所述气室空间相通,台面下表面上设置有温度控制单元。通过本实用新型的实施例,同时实现吸附功能与控温功能,从而既保证台面的温度均匀性,又降低了电极连接的接触电阻,确保了测试的准确性,并对样品实现二维平移。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京卓立汉光仪器有限公司;
- 发明人张义伟;陈兴海;
- 地址101149 北京市通州区八里桥南街5号电信科学技术仪表研究所主楼二层
- 申请号CN200920109625.6
- 申请时间2009年06月26日
- 申请公布号CN201508401U
- 申请公布时间2010年06月16日
- 分类号G01R31/26(2006.01)I;