摘要：本实用新型涉及一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架、电子控制装置和计算机，电子控制装置通过导线与计算机连接，所述支架的顶部设有CCD摄像装置，CCD摄像装置包括目镜和物镜转换器，物镜转换器的下部设有物镜和SPM探头，所述支架的底部设有步进马达精密调焦装置，步进马达精密调焦装置的上表面设有步进马达二维精密工作台，步进马达二维精密工作台上表面的中部设有三维扫描台，三维扫描台通过导线与电子控制装置连接。本实用新型的有益效果为：可以用光学显微镜来选择样品的细节，使要测量的部位进入视场的中央，然后将SPM探头转至测量位置，对同一区域进行扫描即可开始高分辨测量，极大地提高了工作效率，成为最实用的表面分析装置。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州海兹思纳米科技有限公司;
- 发明人胡志强;罗先照;
- 地址215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105
- 申请号CN200920175594.4
- 申请时间2009年08月24日
- 申请公布号CN201477021U
- 申请公布时间2010年05月19日
- 分类号G01N13/00(2006.01)I;G01N13/10(2006.01)I;
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