摘要：本实用新型公开了一种LED蓝宝石衬底划片机，其包括有箱体，箱体包括有上半箱体和下半箱体，上半箱体的底面以及顶端分别设有隔板；顶端隔板上部设有激光器安装装置、外光路系统及图像采集装置，图像采集装置包括有高倍显微镜头以及图像采集电荷耦合器件，顶端隔板下部设有气路装置、组合聚焦镜装置以及焦距自动调节装置；底面隔板上设置有组合工作台装置，组合工作台装置包括有精密旋转马达以及二维直线电机数控工作台；下半箱体上设有主控箱以及与主控箱相连接的工控机，工控机还分别与图像采集装置及组合工作台装置相连接；本实用新型的LED蓝宝石衬底划片机能够自动调焦、高速、高精度划片并且性能稳定。
- 专利类型实用新型
- 申请人武汉华工激光工程有限责任公司;
- 发明人闵大勇;卢飞星;赵宇;李轶;
- 地址430223湖北省武汉市东湖开发区华中科技大学科技园激光产业园
- 申请号CN200920106829.4
- 申请时间2009年03月25日
- 申请公布号CN201399655Y
- 申请公布时间2010年02月10日
- 分类号B23K26/00(2006.01)I;B23K26/16(2006.01)I;F16F15/04(2006.01)I;
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