摘要：本实用新型公开了一种多路实时膜厚监控仪，它包括主机和连接在主机上的至少一个振荡探测组件，所述振荡探测组件由振荡器和探头组成，振荡器的输出端连接主机，而输入端连接探头。本实用新型所述多路实时膜厚监控仪可多路同步实时动态监测多个镀膜蒸发源头内膜层的几何厚度、沉积速率等镀膜参数，掌握每个蒸发源的蒸发速率和膜层厚度，然后通过单片机PWM输出来同时实现多台镀膜设备的高精度镀膜功率控制，故在实际的使用过程中，可以替代多台常规产品使用，成本低、但效率高。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州硕光科技有限公司;
- 发明人吴向方;刘俊男;
- 地址215011江苏省苏州市新区玉山路1号
- 申请号CN200920141754.3
- 申请时间2009年02月19日
- 申请公布号CN201369319Y
- 申请公布时间2009年12月23日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;
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