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    硅片自动装片机

      摘要:本实用新型涉及一种硅片自动装片机,按照本实用新型提供的技术方案,所述硅片自动装片机,包括水箱与花篮盒,在水箱侧壁通过固定导轨横档架设有导轨,小车的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板,在导轨上通过滚轮滚动连接有装片小车,在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒,在水箱上通过支承滑片槽装置设置有滑片槽,滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上滑动的花篮盒,在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。本实用新型具有装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率与提高生产效率等优点。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人无锡市南亚科技有限公司;
    • 发明人顾韻;储敏;王江华;
    • 地址214026江苏省无锡市扬名高新技术产业园B区92号
    • 申请号CN200820214482.0
    • 申请时间2008年12月19日
    • 申请公布号CN201336302Y
    • 申请公布时间2009年10月28日
    • 分类号H01L21/677(2006.01)I;B65G65/32(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;