摘要：本实用新型涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构的输出端通过一转块连接所述翻转板的底部后端，所述翻转板的顶部连接一硅片盒，当所述曲柄连杆机构的曲柄在0～180°范围内往复间歇摆动时，连接所述硅片盒进行仰俯摆动。本实用新型的核心机构—曲柄联杆机构和一转轴机构的设置具有结构简单合理，即能实现自动俯仰，又能实现平稳俯仰，解决了已有技术中存在的难题。
- 专利类型实用新型
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200820123233.0
- 申请时间2008年10月24日
- 申请公布号CN201319371Y
- 申请公布时间2009年09月30日
- 分类号H01L21/673(2006.01)I;
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