摘要：本实用新型公开了一种用于物理气相沉积且能更好降低工件温度的卡具，所述卡具包括金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，其特征在于：金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。其中金属基座由选自铝、铜或铁的一种高比热材料组成，绝热层为玻璃纤维或耐火纤维，沟槽中的各面与工件表面紧密接触。该工件卡具优点在于基座由高比热材料组成，可以在吸收相同热量的情况下具有较低的温升。同时，金属基座上覆盖的绝热层可以更好的隔绝来自外界的热量。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京东方新材科技有限公司;
- 发明人张云龙;徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀区上地信息产业基地三街九号金隅大厦C座1112室
- 申请号CN200820122496.X
- 申请时间2008年10月21日
- 申请公布号CN201313932Y
- 申请公布时间2009年09月23日
- 分类号C23C14/22(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;
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