摘要：本实用新型提供一种光学薄膜测厚仪，该仪器包括有光源、电源、光纤光谱仪、光纤跳线、探头、样品台、水平调节旋钮以及USB接口，所述光源、电源、光纤光谱仪分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上；光纤探头安装在样品台上的横梁上，水平调节旋钮置于样品台的下方；所述光源、光纤光谱仪、探头分别连接光纤跳线；光纤光谱仪带有USB接口。有益效果是该仪器结构使光路方便调节，提高了测量精度，保证有足够的反射光进入光纤；使用光阑来调节测量光束的大小，操作简便，使仪器适用于不同的测试样品和条件，拓宽了仪器的适用性；样品台加入水平调节装置，保证光束严格垂直样品表面，而且使其能够测量不规则样品。
- 专利类型实用新型
- 申请人天津港东科技发展股份有限公司;
- 发明人张姝;孙双猛;牛旭文;
- 地址300386天津市南开区华苑产业园区鑫茂科技园G座EF单元二层
- 申请号CN200820075443.7
- 申请时间2008年07月24日
- 申请公布号CN201247048Y
- 申请公布时间2009年05月27日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
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