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一种三维调节座

　　摘要：本实用新型公告了一种三维调节座，包括X向微调组件、Y向微调组件和Z向微调组件、固定座、关节轴承；所述X向微调组件与关节轴承内圈固定连接，所述关节轴承外圈与固定座连为一体，所述X向微调组件一端用于固定待调节物、另一端为X向调节器，所述Y向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Y向调节器，所述Z向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Z向调节器。本实用新型结构简单、灵敏度高、定位精度高。

专利类型实用新型
申请人深圳市矽电半导体设备有限公司;
发明人王胜利;康春凤;刘振辉;
地址518000广东省深圳市龙岗区留学生创业园1栋412室
申请号CN200820095791.0
申请时间2008年07月25日
申请公布号CN201233886Y
申请公布时间2009年05月06日
分类号H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I;