摘要：本实用新型涉及一种绿激光显微精密修调机，由机架、二维工作台、精密旋转台、探针、高倍显微镜、外光路护套、45度全反镜、扩束镜、激光器部件组成，机架的上面安装激光器，在激光器的出光孔处装有扩束镜，45度全反镜安装在扩束镜与外光路护套之间，机架的中间安装高倍显微镜，高倍显微镜的上方与外光路护套相连，且其下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台，机架的下方安装二维数控工作台，二维工作台的上面装有精密旋转台和探针。本实用新型利用精细聚焦的高峰值功率脉冲绿激光光斑，作为精密修切的光刀，配以实时自动检测和精密移位工作台，可实现对电阻、电路和传感器等器件作高精度自动修切调整，使电阻调节、断点刻蚀和图案标刻一气呵成。
- 专利类型实用新型
- 申请人武汉华工激光工程有限责任公司;
- 发明人卢飞星;陈泽民;邱忠明;汪宏志;游立德;
- 地址430223湖北省武汉市华中科技大学科技园华工科技激光产业园
- 申请号CN200620172515.0
- 申请时间2006年12月22日
- 申请公布号CN200994226Y
- 申请公布时间2007年12月19日
- 分类号H05K3/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);H05K13/06(2006.01);
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