摘要：本发明提供一种由压电陶瓷低电压区构成的低电压微位移驱动电路及控制方法。电路由微控制器MCU、数模转换器D/A、一级运放A1、二级运放A2、三级运放A3及压电陶瓷PZT构成；其控制方法如下：设定相位差设置值→设定压电陶瓷控制电压初值→驱动压电陶瓷伸缩→推动干涉显微镜镜筒→产生不同相位干涉图→将图象变为数字信号→算出相位差→实测值与设置值比较→根据差值修正压电陶瓷控制电压值，实测值与设置值之间小于允许误差结束调整。本发明使光电轮廓仪具有重量轻、体积小、精度高、造价低、性能全的优点，成为纳米级精确测量物体轮廓及表面粗糙度的新型仪器。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海精密科学仪器有限公司;
- 发明人朱纪忠;陈若雷;陆忠;
- 地址200233上海市苍梧路7号
- 申请号CN200610148202.6
- 申请时间2006年12月28日
- 申请公布号CN1995909A
- 申请公布时间2007年07月11日
- 分类号G01B11/24(2006.01);G01B11/30(2006.01);
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