摘要：一种高精度三自由度运动平台，X，Y和θ，运动行程小，精度高。运动行程X，Y小于3mm，θ角度小于5°，分辨率高达20纳米。该平台以二层结构实现三自由度运动为特征，使用弹性支撑直线电机驱动，四个光栅传感器反馈运动信号，侍服闭环运动控制系统。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京慧摩森电子系统技术有限公司;
- 发明人牛怀新;欧钟;
- 地址100083北京市北四环中路238号柏彦大厦1309室
- 申请号CN200510098315.5
- 申请时间2005年09月08日
- 申请公布号CN1921026A
- 申请公布时间2007年02月28日
- 分类号G12B9/10(2006.01);G12B5/00(2006.01);
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京公网安备11010802043465号
