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  • 教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN1888943A

    一种微型全分析系统芯片高度定位方法

      摘要:本发明涉及一种微型全分析系统芯片高度定位方法:先用标准芯片调整光源和芯片工作台高度,使俯视时可观察到的光源聚焦点小于、等于微通道的宽度;工作芯片包括盖片和基片,键合法使基片的上表面与盖片下表面紧密贴合,盖片上刻有小孔,基片的上表面刻有微通道,所述小孔分别与相应的微通道相通,盖片的面积大于基片的面积,形成工作芯片安放在于芯片工作台上时的支撑定位面,使盖片上的支撑定位面与芯片工作台的台面相接触。本发明提供的芯片高度定位方法,可以避免芯片由于材料或加工技术差别,造成的芯片厚度差别带来的高度定位误差,不需要人工的反复调整也不需要高成本、高技术的自动调节系统,可轻松简单地保证每一块芯片相对于光源高度的正确定位。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人上海光谱仪器有限公司;
    • 发明人王鹗;陈建钢;方群;刘志高;王伟;张涛;富景林;张大伟;
    • 地址200233上海市漕河泾高新技术开发区钦州北路1122号91号楼十楼
    • 申请号CN200610025730.2
    • 申请时间2006年04月14日
    • 申请公布号CN1888943A
    • 申请公布时间2007年01月03日
    • 分类号G02B7/00(2006.01);G01M11/00(2006.01);