摘要:本发明提供了一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。该无尘室车间包括:相互连通的多个制程区域空间;风机过滤机组,风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部,且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构;其中,无尘室车间还包括:用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备,气流调节设备安装在各个制程区域空间内,且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。应用本发明的技术方案能够解决目前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费时费工且影响后续产品良率的情况的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司;
- 发明人黄俊钦;
- 地址518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房6、7楼
- 申请号CN201611109857.2
- 申请时间2016年12月06日
- 申请公布号CN106556085A
- 申请公布时间2017年04月05日
- 分类号F24F3/16(2006.01)I;F24F7/007(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I;F24F13/08(2006.01)I;F24F13/28(2006.01)I;