摘要：本发明涉及一种激光回馈干涉仪，包括：正交偏振激光模块，用于同向输出两束空间上重合的正交偏振的激光；第一分光镜，设置于从所述正交偏振激光模块输出激光的光路上；第一偏振分光镜，设置于所述第一分光镜反射形成反射光的光路上；光电探测模块，设置于所述第一偏振分光镜输出的正交偏振光的光路上；声光移频模块，设置于第一分光镜透射的透射光的光路上；第二分光镜，设置于从声光移频模块出射的光路上；汇聚模块，设置于所述第二分光镜反射的激光的光路上；反射模块，用于将入射的光再次反射回正交偏振激光模块；第二偏振分光镜，设置于从所述第二分光镜透射的光路上，用于形成偏振态分离的参考光及测量光。本发明提供的激光回馈干涉仪精度高。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京镭测科技有限公司;
- 发明人张书练;张韶辉;谈宜东;
- 地址100022 北京市朝阳区建华南路11号
- 申请号CN201610847628.4
- 申请时间2016年09月23日
- 申请公布号CN106546165A
- 申请公布时间2017年03月29日
- 分类号G01B9/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
