摘要：本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路的管壁上沉积并形成颗粒，从而保证了工艺管排气管路的通畅。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人穆晓航;钟结实;王凯;杨帅;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201610921716.4
- 申请时间2016年10月21日
- 申请公布号CN106507514A
- 申请公布时间2017年03月15日
- 分类号H05B3/02(2006.01)I;H05B1/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
