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    一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法

      摘要:本发明涉及一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法。包括蒸发源阵列、基板、传动装置以及配合蒸发源阵列的掩膜板;所述蒸发源阵列由若干个蒸发源排列而成,蒸发源中的材料垂直向上蒸发至基板上,通过传动装置带动基板或蒸发源阵列的移动,完成基板的蒸镀,进而形成OLED器件。本发明加大了基板与掩膜板的距离,减小掩膜板对蒸镀的影响;减小蒸发源与基板的距离,使得蒸发材料更少地扩散在蒸发环境里,节约了蒸发材料;另外,还减小蒸发源间距,减小掩膜板孔隙间距,实现点对点的蒸发,增加单位面积内子像素的个数,实现了高精度OLED器件的制备。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人福州大学;
    • 发明人叶芸;郭太良;严群;张永爱;吕珊红;徐中炜;
    • 地址350002 福建省福州市鼓楼区工业路523号
    • 申请号CN201611137869.6
    • 申请时间2016年12月12日
    • 申请公布号CN106435483A
    • 申请公布时间2017年02月22日
    • 分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;