摘要：本发明属于稀疏超分辨检测领域，并公开了一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法。该方法包括如下步骤：执行过采样高频超声显微C?扫成像；根据过采样时的采样步长与超声探头分辨率，计算出探头点扩散函数k；由点扩散函数根据进行稀疏超分辨计算，获得最终高分辨图像。本发明方法实现了高频显微成像对现微小缺陷进行超分辨显微成像，增强图像信噪比和分辨率，提高微小缺陷检测的准确性，同时对于微观缺陷的检测有着重要的意义，有效地推动微器件可靠性的发展。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人廖广兰;张贻春;史铁林;王西彬;汤自荣;洪源;王肖;陈科鹏;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610827780.6
- 申请时间2016年09月18日
- 申请公布号CN106404923A
- 申请公布时间2017年02月15日
- 分类号G01N29/44(2006.01)I;
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